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新型金剛石磨料在藍寶石晶體研磨加工中的應(yīng)用

關(guān)鍵詞 金剛石 , 磨料 , 藍寶石 , 晶體 , 研磨|2015-11-30 09:26:36|技術(shù)信息|來源 中國超硬材料網(wǎng)
摘要 藍寶石(ɑ-AL2O3)具有硬度高、熔點高、透光性好、熱傳導(dǎo)性和電絕緣性優(yōu)良、化學(xué)性能穩(wěn)定等特點,故廣泛應(yīng)用于精密儀器儀表、激光器的窗口和反射鏡、半導(dǎo)體外延襯底材料、絕緣的集成芯片...
  藍寶石(ɑ-AL2O3)具有硬度高、熔點高、透光性好、熱傳導(dǎo)性和電絕緣性優(yōu)良、化學(xué)性能穩(wěn)定等特點,故廣泛應(yīng)用于精密儀器儀表、激光器的窗口和反射鏡、半導(dǎo)體外延襯底材料、絕緣的集成芯片等。而以上器件的性能和質(zhì)量在很大程度上取決于晶體表面的精密加工質(zhì)量。

  金剛石磨料作為精密、超精密加工工序的關(guān)鍵耗材,在藍寶石晶體研磨加工過程中發(fā)揮至關(guān)重要的作用。通常情況下,行業(yè)內(nèi)選用多晶金剛石微粉配制研磨液對藍寶石晶體進行加工,實現(xiàn)高效的加工效率和良好的表面加工質(zhì)量,滿足具體加工工藝要求。

  目前多晶金剛石微粉均采用爆炸法制備工藝進行生產(chǎn),產(chǎn)品成本高且產(chǎn)能受限;另外在生產(chǎn)過程中爆炸法制備工藝還會對自然環(huán)境造成破壞。這些不足在一定程度上影響了多晶金剛石在藍寶石晶體研磨加工中的廣泛應(yīng)用。

  針對以上具體問題,行業(yè)內(nèi)相關(guān)公司利用特殊的表面處理工藝方法,研制出一種新型的金剛石磨料(類多晶金剛石微粉),該磨料表面與傳統(tǒng)的多晶金剛石磨料相比,具有大量的微細切削刃。這些磨削刃具有較高的強度,不易破碎,在具體加工過程中能發(fā)揮高效的加工效率和良好的表面加工質(zhì)量的優(yōu)勢。下圖1是多晶金剛石和新型金剛石形貌對比圖。
圖1 多晶金剛石和新型金剛石表面形貌圖
  在加工效率方面,行業(yè)內(nèi)相關(guān)公司分別對傳統(tǒng)的多晶金剛石和新型金剛石磨料進行對比試驗,具體結(jié)果如下:
  通過上圖2可以看出,新型金剛石磨料的加工效率要比多晶金剛石高2倍以上,優(yōu)勢明顯。

  在表面加工質(zhì)量方面,主要是考察多晶金剛石和新型金剛石加工后工件表面粗糙度值,具體結(jié)果如下:
表1、多晶金剛石和新型金剛石加工后工件表面粗糙度對比
  從上表1看出,采用新型金剛石磨料加工后,工件表面粗糙度值要比多晶金剛石低30%以上。

  綜上分析,新型金剛石磨料在加工效率和表面加工質(zhì)量方面,均優(yōu)于傳統(tǒng)的多晶金剛石,并且其生產(chǎn)工藝與傳統(tǒng)爆炸法不同,生產(chǎn)成本低且產(chǎn)能不受限制。因此,作者認為新型金剛石磨料在藍寶石晶體研磨加工領(lǐng)域?qū)袕V闊的市場前景。
 

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