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晶馳機(jī)電申請防氣流沖擊的大尺寸金剛石生長MPCVD裝置專利,避免氣流沖擊金剛石襯底提高均勻性

關(guān)鍵詞 晶馳機(jī)電 , MPCVD裝置專利|2025-05-08 10:19:22|行業(yè)專利|來源 金融界
摘要 金融界2025年5月2日消息,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,杭州晶馳機(jī)電科技有限公司申請一項名為“一種防氣流沖擊的大尺寸金剛石生長MPCVD裝置及其工作方法”的專利,公開號CN11990...

       金融界2025年5月2日消息,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,杭州晶馳機(jī)電科技有限公司申請一項名為“一種防氣流沖擊的大尺寸金剛石生長MPCVD裝置及其工作方法”的專利,公開號CN119900076A,申請日期為2024年9月。

       專利摘要顯示,本發(fā)明涉及一種防氣流沖擊的大尺寸金剛石生長MPCVD裝置及其工作方法,它屬于金剛石制備相關(guān)領(lǐng)域。本發(fā)明包括反應(yīng)腔、外環(huán)冷卻腔、內(nèi)環(huán)勻氣腔、工藝氣體緩沖腔、工藝氣體進(jìn)入系統(tǒng),外環(huán)冷卻腔設(shè)置在反應(yīng)腔的腔體外環(huán)頂部,外環(huán)冷卻腔上方與工藝氣體緩沖腔連接,內(nèi)環(huán)勻氣腔設(shè)置在反應(yīng)腔的腔體中心頂部,內(nèi)環(huán)勻氣腔將反應(yīng)腔與工藝氣體緩沖腔隔離,工藝氣體緩沖腔頂部的腔體上密封蓋兩側(cè)對稱設(shè)置工藝氣體進(jìn)入系統(tǒng)。本發(fā)明還提供了一種防氣流沖擊的大尺寸金剛石生長MPCVD裝置的工作方法。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,安全可靠,采用下進(jìn)微波形式時,氣流自腔體上方進(jìn)入后,避免了氣流沖擊金剛石襯底,提高金剛石均勻性,滿足使用需求。

       天眼查資料顯示,杭州晶馳機(jī)電科技有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以從事研究和試驗發(fā)展為主的企業(yè)。企業(yè)注冊資本792.39萬人民幣。通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,杭州晶馳機(jī)電科技有限公司共對外投資了2家企業(yè),參與招投標(biāo)項目9次,財產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息4條,專利信息12條。


 

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