名稱 | 金剛石復合涂層拉絲模制備方法 | ||
公開號 | 1327084 | 公開日 | 2001.12.19 |
主分類號 | C23C16/27 | 分類號 | C23C16/27;B21C3/02 |
申請?zhí)?/strong> | 01113027.X | ||
分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2001.05.31 | |
頒證日 | 優(yōu)先權 | ||
申請人 | 上海交通大學 | 地址 | 200030上海市華山路1954號 |
發(fā)明人 | 沈荷生;張志明;郭松壽 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構(gòu) | 上海交通大學專利事務所 | 代理人 | 毛翠瑩 |
摘要 | 一種金剛石復合涂層拉絲模制備方法,以大孔徑硬質(zhì)合金拉絲模為襯底,經(jīng)稀鹽酸滴加雙氧水腐蝕,清洗后用穿孔熱絲CVD法首先沉積一層常規(guī)金剛石薄膜,然后降低反應氣體壓力,增加碳源體積濃度,并添加Ar氣,原位繼續(xù)沉積一層納米金剛石膜組成復合涂層。本發(fā)明的復合涂層既具有常規(guī)涂層耐磨,附著力強的優(yōu)點,又兼有納米金剛石涂層表面光滑,摩擦系數(shù)小,易研磨拋光等特點,適用于各種金屬材料的拉絲。 |