天岳先進申請金剛石用研磨液及金剛石襯底的研磨方法專利,能夠實現(xiàn)對金剛石襯底的均勻且高效研磨
關鍵詞 專利|2024-06-24 11:00:58|行業(yè)專利|來源 金融界
摘要 2024年6月13日消息,天眼查知識產權信息顯示,山東天岳先進科技股份有限公司申請一項名為“一種金剛石用研磨液及金剛石襯底的研磨方法“,公開號CN202410579029.3,申請...
2024年6月13日消息,天眼查知識產權信息顯示,山東天岳先進科技股份有限公司申請一項名為“一種金剛石用研磨液及金剛石襯底的研磨方法“,公開號CN202410579029.3,申請日期為2024年5月。
專利摘要顯示,本申請公開了一種金剛石用研磨液及金剛石襯底的研磨方法,屬于金剛石研磨技術領域。該研磨液包括金剛石微粉、碳化硼微粉、雙氧水和水,所述研磨液中金剛石微粉、碳化硼微粉、雙氧水和水的重量比為(0.08~0.15):(0.08~0.15):(0.05~0.10):1,所述雙氧水中過氧化氫的濃度為30%。研磨方法中采用含有雙氧水的研磨液與表面固定有金剛石微粉的研磨盤相互協(xié)同,能夠實現(xiàn)對金剛石襯底的均勻且高效研磨,顯著降低研磨后的金剛石襯底的粗糙度并提高成品率,提高了金剛石襯底的應用前景。
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