申請(qǐng)?zhí)? 201721069584.3
申請(qǐng)日: 2017.08.25
申請(qǐng)人: 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司
發(fā)明人: 碳星; 藺鋼; 李升
摘要:
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種利用激光加工CVD金剛石的設(shè)備,包括底座,底座上設(shè)有第一滑槽,第一滑槽的前端側(cè)壁上設(shè)有內(nèi)外連通的通孔,且通孔內(nèi)貫穿設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,轉(zhuǎn)動(dòng)桿位于第一滑槽內(nèi)的一端上固定套接有第一渦輪,第一滑槽的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一蝸桿,且第一蝸桿與第一渦輪嚙合,第一蝸桿上固定套接有第一齒輪,且第一齒輪位于第一渦輪的下方,第一滑槽的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩根第二蝸桿,且兩根第二蝸桿分別位于第一蝸桿左右兩端的第一滑槽底部上,兩根第二蝸桿上固定套接有第二齒輪,且第二齒輪與第一齒輪嚙合,第一滑槽內(nèi)設(shè)有兩個(gè)第一滑塊。本實(shí)用新型能有效的檢測(cè)打磨后的CVD金剛石制品平整度,確保了CVD金剛石制品的精確度。
主權(quán)利要求:
一種利用激光加工CVD金剛石的設(shè)備,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上設(shè)有第一滑槽(2),所述第一滑槽(2)的前端側(cè)壁上設(shè)有內(nèi)外連通的通孔,且通孔內(nèi)貫穿設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(3),所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(3)位于第一滑槽(2)內(nèi)的一端上固定套接有第一渦輪(4),所述第一滑槽(2)的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一蝸桿(5),且第一蝸桿(5)與第一渦輪(4)嚙合,所述第一蝸桿(5)上固定套接有第一齒輪(6),且第一齒輪(6)位于第一渦輪(4)的下方,所述第一滑槽(2)的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩根第二蝸桿(7),且兩根第二蝸桿(7)分別位于第一蝸桿(5)左右兩端的第一滑槽(2)底部上,兩根所述第二蝸桿(7)上固定套接有第二齒輪(8),且第二齒輪(8)與第一齒輪(6)嚙合,所述第一滑槽(2)內(nèi)設(shè)有兩個(gè)第一滑塊(9),兩個(gè)所述第一滑塊(9)的側(cè)壁上均設(shè)有左右連通的第一螺紋孔,且第一螺紋孔內(nèi)螺紋連接有第一螺紋桿(10),所述第一螺紋桿(10)靠近第一齒輪(6)的一端連接有第二渦輪(11),且第二渦輪(11)與第二蝸桿(7)嚙合,所述第一螺紋桿(10)遠(yuǎn)離第二渦輪(11)的一端與第一滑槽(2)的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,兩個(gè)所述第一滑塊(9)的上端均連接有固定桿(12),兩根所述固定桿(12)的相對(duì)側(cè)壁上均連接有固定板(13),所述底座(1)的上端設(shè)有龍門(mén)支架(14),且龍門(mén)支架(14)由一根橫桿和兩根豎桿組成,所述龍門(mén)支架(14)橫桿的下端連接有液壓缸(15),且液壓缸(15)的活塞桿豎直朝下設(shè)置,所述液壓缸(15)的活塞桿下端連接有連接板(16),所述連接板(16)的下端面設(shè)有第二滑槽(17),所述第一滑槽(17)內(nèi)設(shè)有兩塊第二滑塊(18),所述第二滑槽(17)的前后側(cè)壁上均設(shè)有內(nèi)外連通的第二螺紋孔,且第二螺紋孔內(nèi)螺紋連接有第二螺紋桿(19),兩根所述第二螺紋桿(19)位于第二滑槽(17)內(nèi)的一端分別與兩塊第二滑塊(18)的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,其中一個(gè)所述第二滑塊(18)的下端連接有打磨裝置(20),另一個(gè)所述第二滑塊(18)的下端連接有測(cè)試桿(21),所述測(cè)試桿(21)的下端連接有光感應(yīng)器(22),所述測(cè)試桿(21)遠(yuǎn)離光感應(yīng)器(22)的一端連接有激光發(fā)射器(23)。