申請(qǐng)?zhí)枺?01710244693.2
　　申請(qǐng)人：于宗旭
　　發(fā)明人：于宗旭

　　摘要： 本發(fā)明為一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，包括諧振腔體，諧振腔體由上圓筒形腔體、中間圓弧形腔體和下圓筒形腔體構(gòu)成，中間圓弧形腔體的曲率半徑等于微波波長(zhǎng)；上圓筒形腔體頂蓋上設(shè)有反應(yīng)氣體入口以及安裝有石英鐘罩介質(zhì)窗口和同軸探針天線，同軸探針天線上設(shè)置有進(jìn)風(fēng)管和出風(fēng)孔；下圓筒形腔體內(nèi)設(shè)置有反射板和圓柱形升降基臺(tái)，反射板上設(shè)有反應(yīng)氣體出口，下圓筒形腔體的底板上設(shè)有反應(yīng)氣體總出口。本發(fā)明裝置具有聚焦能力強(qiáng)，能夠容納較高的輸入功率，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單制造方便等優(yōu)點(diǎn)。 　　主權(quán)利要求：1.一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，包括諧振腔體，其特征在于：所述的諧振腔體分為上圓筒形腔體（1）、中間圓弧形腔體（2）和下圓筒形腔體（3），其中，中間圓弧形腔體（2）的曲率半徑R等于微波波長(zhǎng)λ，上圓筒形腔體（1）的直徑大于中間圓弧形腔體（2）的直徑，中間圓弧形腔體（2）的直徑大于下圓筒形腔體（3）的直徑；上圓筒形腔體（1）的頂蓋上安裝有石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）和同軸探針天線（5），石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）位于同軸探針天線（5）的正下方，石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）與上圓筒形腔體（1）頂蓋的連接處為密封設(shè)置；同軸探針天線（5）的空心內(nèi)導(dǎo)體設(shè)置為進(jìn)風(fēng)管（6），同軸探針天線（5）的外導(dǎo)體側(cè)壁上設(shè)置有出風(fēng)孔（7）；上圓筒形腔體（1）的頂蓋上還設(shè)置有與諧振腔體內(nèi)部空間相通的反應(yīng)氣體入口（8）；下圓筒形腔體（3）內(nèi)設(shè)置有反射板（9），反射板（9）上設(shè)置有反應(yīng)氣體出口（10），反射板（9）的中部安裝有圓柱形升降基臺(tái)（11）；下圓筒形腔體（3）的底板上設(shè)置有反應(yīng)氣體總出口（12）；上圓筒形腔體（1）、中間圓弧形腔體（2）、下圓筒形腔體（3）、石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）、同軸探針天線（5）、反射板（9）及圓柱形升降基臺(tái)（11）都位于同一軸線上。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：上圓筒形腔體（1）的頂蓋中心處設(shè)有腔口（1-1），石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）為碗狀結(jié)構(gòu)，在其碗口周緣設(shè)有外延的搭棱（4-1），石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）以碗口朝上的方向安置在上圓筒形腔體（1）的腔口（1-1）內(nèi)，并且石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）上的搭棱（4-1）密封的搭接在上圓筒形腔體（1）腔口（1-1）處的頂蓋上；同軸探針天線（5）安裝在上圓筒形腔體（1）的頂蓋上正對(duì)腔口（1-1）的位置處；石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）的口徑大于同軸探針天線（5）外導(dǎo)體的直徑。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：上圓筒形腔體（1）的頂蓋上與石英鐘罩介質(zhì)窗口（4）搭棱（4-1）相搭接的部位設(shè)有一圈密封槽（13），密封槽（13）內(nèi)設(shè)置有密封圈（14）。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：同軸探針天線（5）的外導(dǎo)體側(cè)壁上設(shè)置的出風(fēng)孔（7）的數(shù)量為2-8個(gè)。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：反射板（9）上設(shè)置的反應(yīng)氣體出口（10）的數(shù)量為3-12個(gè)。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：微波波長(zhǎng)λ為117.4-127.5mm，中間圓弧形腔體（2）的曲率半徑R等于微波波長(zhǎng)λ，上圓筒形腔體（1）的直徑為270-300mm，下圓筒形腔體（3）的直徑為180-230mm。
　　7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：微波波長(zhǎng)λ為122.4mm，中間圓弧形腔體（2）的曲率半徑R為122.4mm，上圓筒形腔體（1）的直徑為284mm，下圓筒形腔體（3）的直徑為200mm。
　　8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：微波波長(zhǎng)λ為317.9-337.9mm，中間圓弧形腔體（2）的曲率半徑R等于微波波長(zhǎng)λ，上圓筒形腔體（1）的直徑為740-800mm，下圓筒形腔體（3）的直徑為400-600mm。
　　9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石反應(yīng)裝置，其特征在于：微波波長(zhǎng)λ為327.9mm，中間圓弧形腔體（2）的曲率半徑R為327.9mm，上圓筒形腔體（1）的直徑為758mm，下圓筒形腔體（3）的直徑為500mm。