申請(qǐng)?zhí)枺?01310731810

　　申請(qǐng)人：中國(guó)有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院有限公司

　　摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶硅棒截?cái)?a href='/news/search/key/%25E9%2587%2591%25E5%2588%259A%25E7%259F%25B3.html' target='_blank'>金剛石線鋸裝置，包括切斷單晶硅棒的金剛石線鋸，所述金剛石線鋸包括兩條以上的環(huán)形金剛石鋸絲，各條環(huán)形金剛石鋸絲分別由不同的導(dǎo)輪組張緊而形成兩個(gè)以上的切割面，各切割面相互平行且之間的距離可調(diào)節(jié)；各條環(huán)形金剛石鋸絲對(duì)單晶硅棒的切割段處于與單晶硅棒軸線平行的同一平面上；所述切割段兩端的環(huán)形金剛石鋸絲上設(shè)有導(dǎo)向輪。本發(fā)明采用多條平行的環(huán)形金剛石鋸絲同時(shí)將單晶硅棒截?cái)喽喽?，充分有效利用環(huán)形金剛石鋸絲單方向、無(wú)慣性力、高速運(yùn)動(dòng)的特性，相比金剛石單線鋸可提高加工效率3倍～5倍。

　　獨(dú)立權(quán)利要求：1.單晶硅棒截?cái)嘟饎偸€鋸裝置，包括切斷單晶硅棒（4）的金剛石線鋸，其特征在于：所述金剛石線鋸包括兩條以上的環(huán)形金剛石鋸絲（1），各條環(huán)形金剛石鋸絲（1）分別由不同的導(dǎo)輪組張緊而形成兩個(gè)以上的切割面，各切割面相互平行且之間的距離可調(diào)節(jié)。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶硅棒截?cái)嘟饎偸€鋸裝置，其特征在于：各條環(huán)形金剛石鋸絲（1）對(duì)單晶硅棒（4）的切割段處于與單晶硅棒（4）軸線平行的同一平面上。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶硅棒截?cái)嘟饎偸€鋸裝置，其特征在于：所述切割段兩端的環(huán)形金剛石鋸絲（1）上設(shè)有導(dǎo)向輪（3）。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的單晶硅棒截?cái)嘟饎偸€鋸裝置，其特征在于：各導(dǎo)輪組中導(dǎo)輪（2）的個(gè)數(shù)為2個(gè)、或?yàn)?個(gè)、或?yàn)?個(gè)。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶硅棒截?cái)嘟饎偸€鋸裝置，其特征在于：所述導(dǎo)輪（2）中包括一個(gè)主動(dòng)輪和一個(gè)張緊輪。