申請(qǐng)?zhí)枺?01310474811

　　申請(qǐng)人：武漢工程大學(xué)

　　摘要：本發(fā)明屬于微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的領(lǐng)域，主要是涉及一種用于制備高質(zhì)量大面積金剛石膜的微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。本系統(tǒng)主要包括真空部分和微波導(dǎo)入部分，真空部分包括真空腔和真空腔上蓋，真空腔上蓋的中心側(cè)表面形成不同特定尺寸的兩個(gè)凹部，使得真空腔體為多模式腔體，在基片臺(tái)上方形成由兩個(gè)模式產(chǎn)生的大面積能量均勻的等離子體球；微波導(dǎo)入部分由下到上主要包括波導(dǎo)、石英環(huán)、模式轉(zhuǎn)換天線，基片臺(tái)與腔體的下部結(jié)合以?shī)A持石英環(huán)從而保持真空，模式轉(zhuǎn)換天線將微波導(dǎo)入至真空腔內(nèi)，同時(shí)真空腔、模式轉(zhuǎn)換天線以及帶水冷的基片臺(tái)由陶瓷環(huán)固定以保持嚴(yán)格的對(duì)中。

　　獨(dú)立權(quán)利要求：1.一種大面積微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：真空腔體、上蓋、波導(dǎo)、模式轉(zhuǎn)換天線、基片、基片臺(tái)，其特征在于：所述的真空腔體下部具有導(dǎo)入微波的開口部和抽真空的抽氣口，上部具有進(jìn)氣管道的接口；所述的上蓋頂部和真空腔四周設(shè)有觀察窗；上蓋上設(shè)置有不同尺寸的凹部；微波通過夾持于基片臺(tái)下方和真空腔體之間的石英環(huán)導(dǎo)入真空腔體內(nèi)；所述的基片臺(tái)與所述上蓋水平平行，其上設(shè)置有水冷裝置。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的大面積微波等離子體化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述的真空腔為多模式腔體，由不銹鋼等不易受高溫發(fā)生變形的材料制成。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的大面積微波等離子體化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述的基片為鎢板、鉬板或硅片。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求書2所述的大面積微波等離子體化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述的模式轉(zhuǎn)換天線上端以喇叭口的形狀與水冷基片臺(tái)下端焊接，同時(shí)其與水冷基片臺(tái)和真空腔體中心對(duì)中。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求書4所述的大面積微波等離子體化學(xué)沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述的真空腔體下部設(shè)有與真空腔體中心線對(duì)中的陶瓷環(huán)。