先進電子制造是制造技術(shù)的最前沿,它的水平代表著一個國家制造水平的高低。而我國卻面臨著這樣的困境:
一方面電子產(chǎn)品市場蓬勃發(fā)展;另一方面,作為“世界第一制造大國”,電子制造水平卻長期落后于西方。我國電子制造主要技術(shù)全部依賴進口,核心 技術(shù)更是受到外國嚴密封鎖。這不僅導(dǎo)致國家每年都需要耗費巨大的外匯儲備購買專利技術(shù),更極大地制約了我國電子制造業(yè)的長遠發(fā)展。
超精表面拋光、改性和測試技術(shù)是先進電子制造中的關(guān)鍵技術(shù)之一,它主要應(yīng)用于磁記錄領(lǐng)域中的計算機硬盤磁頭表面及硬盤盤基片表面的拋光,同時 還應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域的硅晶片加工和半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)光二極管(LED)藍寶石基片的加工。因此,這項技術(shù)的突破將對我國電子制造業(yè)走上自主創(chuàng)新的道路產(chǎn)生 較大的推動作用。
我校精儀系摩擦學(xué)國家重點實驗室的雒建斌教授、路新春教授、潘國順副教授、溫詩鑄院士等人在該領(lǐng)域開展了多年研究,取得了較大進展。
從“針尖”開始
眾所周知,我們平常使用的計算機硬盤都有一個存儲量的限制,而存儲量又由它的存儲密度所決定。存儲密度越大,單張盤的存儲量也就越大。而存儲 密度的影響因素較多,磁頭/磁盤的讀寫能力、表面保護膜的性能和表面光滑度都是非常重要的因素。其中,磁頭的讀寫能力除與材料性能和線寬密切相關(guān)外,主要 受磁頭的飛行高度影響。磁頭好比手電筒,它發(fā)射出的電磁波不是平行的,而是存在一定的張角。磁頭距離磁盤越近,射出的電磁波在磁盤表面上覆蓋的面積越小, 從而可增大存儲密度,提升硬盤存儲量。而磁頭表面保護膜則主要從兩個重要的方面保護磁頭:一是它必須具有良好的自潔性,避免磁頭吸附過多雜質(zhì);二是它必須 在磁頭與硬盤開始運轉(zhuǎn)時保護磁頭,避免靜摩擦力過大,磨損磁頭。因而,它還必須與磁頭具有良好的結(jié)合力,避免在磁頭高速剪切時致其脫離磁頭表面。
隨著時代的發(fā)展、電子產(chǎn)業(yè)的進步,對硬盤存儲密度的要求越來越高,使磁頭的飛行高度不斷降低,磁頭、磁盤碰撞的幾率在增加,而其保護膜的性能 也必須得到相應(yīng)的提升。雒建斌課題組將摩擦學(xué)與電子制造相結(jié)合,從2000年開始,瞄準這一方向,集中力量研究硬盤制造中的表面改性、加工和測量問題。他 們在小小的磁頭上奮戰(zhàn)數(shù)年,一個納米一個納米地向前邁進,常常是“山窮水復(fù)疑無路,柳暗花明又一村”。
在計算機硬盤制造領(lǐng)域,飛行高度每降低一個納米,都要面臨一系列巨大的技術(shù)挑戰(zhàn)。以磁頭表面拋光為例,磁頭讀寫區(qū)由鐵磁材料、導(dǎo)線(金)、基 體(氧化鋁)等軟硬不同的材料組成,需要均勻去除;其次,鐵磁材料極易腐蝕,它要求加工液的陰離子濃度在 10-9以下;再者,磁頭越接近磁盤表面,就越容易與其產(chǎn)生摩擦,這就要求磁盤表面必須更加光滑 (粗糙度在0.1nm以下)。另外,隨著磁頭飛行高度的降低,如何保護磁頭表面,使其不產(chǎn)生磨損也是一個難題。
雒建斌帶領(lǐng)的課題組圍繞這些問題,與計算機磁頭、磁盤生產(chǎn)公司合作,開展了多年研究,取得了一系列技術(shù)突破,使磁頭的表面粗糙度從當初的 0.483nm降低到了 0.114nm,磁盤的表面粗糙度達到了0.1nm以下;磁頭表面保護膜的抗?jié)裥?、結(jié)合力明顯增強,并在2萬次起停實驗中表現(xiàn)出良好的抗污染能力和抗磨損 能力,從而對硬盤存儲密度的提升起到了促進作用。
天道酬勤 意外的收獲
在研究過程中,課題組創(chuàng)造性地提出將納米金剛石顆粒引入磁頭表面拋光液中,利用含有超細金剛石顆粒的拋光液與磁頭的氧化鋁表面相互作用,從而 使磁頭表面粗糙度得以大幅降低。讓他們更高興的是,納米金剛石拋光液的運用還能去除磁頭表面在拋光過程產(chǎn)生的劃痕和黑點,為磁頭讀寫能力的提升作出了貢 獻。
另外,課題組的孟永鋼教授等在磁頭飛行高度的測量方法上做出了創(chuàng)新,建立了磁頭飛行高度測量儀,使分辨率提升到 0.1nm,達到國際先進水平。
在磁頭拋光液取得重大突破之后,課題組把他們的研究范圍進一步擴大,取得了更加豐碩的成果:如集成電路領(lǐng)域的硅晶片拋光,其拋光速率、硅晶片 表面粗糙度、拋光液循環(huán)使用壽命等關(guān)鍵指標均超過國外同類先進拋光液,達到了取代國外先進產(chǎn)品的技術(shù)水平;半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)光二極管(LED)藍寶石基片拋 光中,成功解決了藍寶石拋光過程中拋光速率低、表面劃痕多以及表面粗糙度大等問題。雒建斌表示,當初并沒有想到會有這些收獲。
靈活高效的組織模式
通常情況下,高校研究團隊對市場的反應(yīng)往往慢于企業(yè)。尤其是在日新月異的IT行業(yè),高校團隊的研究速度相對較慢。因此在進行諸如超精表面拋光、改性和測試技術(shù)這種應(yīng)用技術(shù)的研究方面,存在著一些困難。
為了解決這一問題,我校摩擦學(xué)國家重點實驗室與深圳研究院合作,專門建立了一個與企業(yè)密切合作的實驗室,作為直接面向市場的“分部”,從而實 現(xiàn)了以學(xué)校為依托,與市場緊密聯(lián)系,從基礎(chǔ)理論研究到技術(shù)攻關(guān)和應(yīng)用的“無縫對接”。在清華“本部”,主要進行前瞻性、理論性和嘗試性的基礎(chǔ)研究,尋求技 術(shù)突破的可能性;在深圳“分部”,則面對瞬息萬變的市場行情,進行快速反應(yīng)的應(yīng)用研究,并追求技術(shù)應(yīng)用的穩(wěn)定性。這樣,兩地職能分開,但又可以相互支持, 有效合作。當團隊在北京找到了突破關(guān)鍵技術(shù)的可能性時,深圳方面就能集中力量,迅速實現(xiàn)突破并付諸實踐和應(yīng)用,有效解決了科研成果不能及時轉(zhuǎn)化為實際產(chǎn)品 的問題。
多學(xué)科交叉的團隊構(gòu)成
除了上述卓有成效的分工合作模式,擁有一支富有學(xué)科多樣性、充滿活力的團隊,也是他們在科研道路上獲得成功的重要因素。
超精表面拋光、改性和測試技術(shù)項目組最初是由雒建斌、路新春、溫詩鑄等發(fā)起的,加上部分學(xué)生參與。隨著項目的發(fā)展,又陸續(xù)補充了不少“新鮮血 液”。然而,面向納米制造這一特殊的研究領(lǐng)域,團隊迫切需要具有材料、化學(xué)、物理和機械等不同知識背景的研究人員。項目啟動之初,如何解決好團隊中專業(yè)人 員的合理配置問題,成了困擾他們多時的難題。此時,深圳研究院體制相對靈活的優(yōu)勢顯露了出來。課題組在那里通過合同制的方式,招募到多種學(xué)科背景的科研人 員,從而形成了包括力學(xué)、化學(xué)、材料、機械等學(xué)科專業(yè)人才的綜合研究團隊,大大緩解了專業(yè)配置的瓶頸問題。近年來,他們在清華 “本部”也逐漸采用了這種方式,從而進一步優(yōu)化了團隊內(nèi)部人員的組成結(jié)構(gòu),有力推動了項目的進行。
雒建斌欣慰地介紹說,經(jīng)過多年探索、磨合和發(fā)展,他們的摩擦學(xué)國家重點實驗室在國家工程類 34個重點實驗室評估中,名列第一。
專注突破 進入國際大循環(huán)
超精表面制造屬尖端技術(shù),國際競爭非常激烈。雒建斌坦言:“做到目前這個程度,雖然暫時與國際先進水平保持同步,但如果稍有松懈,很可能過兩 年就落后了。這項研究難度大、變化快,做起來很累。”目前,在單晶硅拋光液領(lǐng)域,我校的研究成果已經(jīng)與世界領(lǐng)先的杜邦公司同步。課題組研制的拋光液能循環(huán) 使用60多個小時,甚至優(yōu)于杜邦公司 50小時的水平。國內(nèi)幾家公司經(jīng)過對比實驗,采用了我校的這一成果。“在這個領(lǐng)域,人們最多只用全世界最好的前兩家產(chǎn)品,不會選擇第三家。我們并不想取代 誰,但一定要進入這個國際大循環(huán)。”
當被問及如何取得今日的成果時,雒建斌特別強調(diào)了一個詞———專注。以他本人為例,從1991年起,他已做了近20年的潤滑和拋光研究,一直緊緊圍繞這一方向,將理論、技術(shù)和應(yīng)用相結(jié)合。能取得今天的成績,絕非偶然。
提及今后的計劃,雒建斌表示,課題組還將繼續(xù)集中突破,把各個具體環(huán)節(jié)做好、做精,在國際大循環(huán)中牢牢占據(jù)一席之地。“如果當人家走到這一環(huán)節(jié)的時候,要用到我們清華的東西———無論是理論、技術(shù)或產(chǎn)品,那我們就成功了。”
摸著石頭過河 路越走越寬
雖然如今在磁頭、磁盤和單晶硅晶圓的拋光、改性等方面取得了較大進展,但雒建斌坦言,剛開始時,他們自己也不能確定這個項目到底能有多大的前 景,只是抱著試一試的態(tài)度,摸著石頭過河。與此同時,項目啟動初期資金缺乏、研究人員知識背景有限所造成的結(jié)構(gòu)缺陷也給研究工作的開展帶來了一定困難。另 外,團隊成員潘國順副教授需要大部分時間在深圳辛勤工作,遠離學(xué)校和家庭,生活上有諸多不便。面對多重壓力,在溫詩鑄院士的大力支持下,團隊沒有動搖,看 準了這條路后,堅定、踏實地一直走了下來。就這樣,雒建斌和他的團隊篳路藍縷,從摸著石頭過河開始,終于走上了一條“康莊大道”:種種技術(shù)難關(guān)得以攻克, 研究項目得到業(yè)內(nèi)人士的理解和認可;“973計劃”、國家自然科學(xué)基金和國家重大專項等的支持,也使科研經(jīng)費有了較為充足的保障;團隊規(guī)模逐漸擴大,團隊 組成結(jié)構(gòu)日益完善。該團隊在溫詩鑄院士為首獲得的國家技術(shù)發(fā)明三等獎、國家自然科學(xué)二等獎的基礎(chǔ)上,2008年又獲得了國家科技進步二等獎。
在這一過程中,團隊的每個成員都付出了艱苦努力,作出了很多犧牲。有時候,為了在限定時間內(nèi)趕制出一個樣品,他們不得不通宵達旦連續(xù)加班;有 時出于研究需要,有些老師必須常年呆在深圳的實驗室工作,一年難得回幾次家……撫今追昔,雒建斌深有感觸地說:“成績的取得是多年來團隊成員共同努力的結(jié) 果,一切水到渠成。”