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官方微信摘要 名稱(chēng)形成金剛石膜的方法公開(kāi)號(hào)1121963公開(kāi)日1996.05.08主分類(lèi)號(hào)C23C14/40
| 名稱(chēng) | 形成金剛石膜的方法 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1121963 | 公開(kāi)日 | 1996.05.08 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C23C14/40 | 分類(lèi)號(hào) | C23C14/40;C01B31/06 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 95108952.8 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1995.07.18 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1994.7.18[33]JP[31]165182/94 | |
| 申請(qǐng)人 | 佳能株式會(huì)社 | 地址 | 日本東京 |
| 發(fā)明人 | 平林敬二; 吉川俊明 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 徐汝巽 |
| 摘要 | 一種通過(guò)高頻等離子體ＣＶＤ方法形成金剛石膜的方法，使用了電感耦合放電，并將高頻波的頻率設(shè)定在４０—２５０ＭＨｚ之間，由此將含碳的原料氣體分解為等離子體狀態(tài)，以在基體上形成金剛石膜?！ ? | ||
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