申請?zhí)枺?01510211641.6
　　申請人：河北普萊斯曼金剛石科技有限公司
　　發(fā)明人：羅廷禮 蔡云虹 張平偉 張雅淋

　　摘要：一種金剛石膜熱導(dǎo)率檢測方法，按照下述步驟進行：a、取待檢測金剛石膜片；b、將待檢測的金剛石膜片在激光切割機上切取樣條；c、將樣條進行三點抗彎強度檢測，求得樣條三點抗彎斷裂強度Rf值；d、由公式λ=Rf/A計算出所述金剛石膜片的熱導(dǎo)率λ；公式中A為與所述金剛石膜片的制膜工藝相對應(yīng)的強度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)，該比例系數(shù)預(yù)先經(jīng)試驗得出。本發(fā)明利用金剛石膜的三點抗彎斷裂強度Rf來快速估算金剛石膜的熱導(dǎo)率λ，對測試環(huán)境條件要求寬松，檢測誤差低。采用本發(fā)明方法，生產(chǎn)廠家可以對所生產(chǎn)金剛石膜產(chǎn)品快速、低成本的給出熱導(dǎo)率λ值，為調(diào)整生產(chǎn)工藝提供重要的參考數(shù)據(jù)，為用戶提供產(chǎn)品的熱導(dǎo)率參數(shù)值。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石膜熱導(dǎo)率檢測方法，其特征在于：所述檢測方法按照下述步驟進行：a、取待檢測金剛石膜片；b、將待檢測的金剛石膜片在激光切割機上切取條狀，稱為樣條；c、將樣條沿長度方向的兩端分別支撐在支點上，將壓力施加在樣條的中分線上，緩慢施加壓力，至樣條斷裂，記錄此時的壓力數(shù)值；同時，記錄實驗時的樣條跨距L、樣條寬度b、樣條厚度h、載荷P，而后代入三點抗彎強度計算公式：Rf=3·p·L/（2b·h2），求得樣條三點抗彎斷裂強度Rf值，其中載荷P的單位是N，樣條跨距L、樣條寬度b、樣條厚度h的單位是mm，Rf單位是MPa；d、由公式λ=Rf/A計算出所述金剛石膜片的熱導(dǎo)率λ；公式中Rf的單位為MPa；A為與所述金剛石膜片的制膜工藝相對應(yīng)的強度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)，單位為MPa·cm·K·W-1，λ為被檢測金剛石膜片的熱導(dǎo)率，單位為W/cm·K。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石膜熱導(dǎo)率檢測方法，其特征在于：所述強度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)A按照如下方式得出：任取一金剛石膜片作為測試樣本，測試樣本的制膜工藝與待檢測金剛石膜片的制膜工藝相同，利用TPDS-金剛石薄膜熱導(dǎo)率光熱偏轉(zhuǎn)測試儀測出測試樣本的熱導(dǎo)率λ，而后采用與上述b步驟、c步驟相同的方法測出該測試樣本的三點抗彎斷裂強度Rf，再由公式λ= Rf/ A即可求出與測試樣本的制膜工藝相對應(yīng)的金剛石膜強度-熱導(dǎo)換算比例系數(shù)A。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金剛石膜熱導(dǎo)率檢測方法，其特征在于：所述b步驟中樣條切取方式如下：由距離金剛石膜片邊緣2-3毫米處，沿徑向向中心方向切取，樣條長度S=5-6毫米，樣條寬度b為1-1.2毫米。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的金剛石膜熱導(dǎo)率檢測方法，其特征在于：所述c步驟中樣條厚度h=h實- h修，其中h實為樣條實測厚度，h修為考慮金剛石膜表明粗糙度的修正值，當樣條h實小于400μ時h修為10μm，當樣條h實大于700μm時h修為30μm，當樣條h實400μm～700μm時h修為20μm。