申請?zhí)枺?span>201210560797

　　申請人：清華大學(xué)

　　摘要：本發(fā)明公開了屬于表面超精研磨技術(shù)領(lǐng)域的一種油性金剛石研磨液及其制備方法，本研磨液含有以下組分：金剛石微粉、表面活性劑、分散劑、pH值調(diào)節(jié)劑、潤濕劑和油，各組分的重量配比（wt.）為：金剛石微粉：0.001%-10%；表面活性劑：0.001%-20%；分散劑：0-20%；pH值調(diào)節(jié)劑：0-10%；潤濕劑：0-10%；其余為油。主要應(yīng)用于碳化硅晶片、LED藍(lán)寶石襯底片、陶瓷、光纖、模具及半導(dǎo)體化合物晶片等表面的研磨拋光。使用本發(fā)明提供的研磨液可大大的提高拋光效率，分散性能好，可以長期保持均勻穩(wěn)定狀態(tài)，用其拋光后產(chǎn)品光潔度高，拋光效果好并且不含對人體有害成分，易于清洗，有利于環(huán)保。

　　獨立權(quán)利要求：1.一種油性金剛石研磨液，其特征在于，該研磨液由金剛石微粉、表面活性劑、分散劑、pH值調(diào)節(jié)劑、潤濕劑和油組成，各成分的重量百分含量為：金剛石微粉：0.001%-10%；表面活性劑：0.001%-20%；分散劑：0-20%；pH值調(diào)節(jié)劑：0-10%；潤濕劑：0-10%；其余為油；其中，所述的表面活性劑為非離子表面活性劑、陰離子表面活性劑或陽離子表面活性劑中的一種或幾種，所述的非離子表面活性劑為蓖麻油聚氧乙烯醚、月桂酸聚氧乙烯酯、油酸聚氧乙烯酯、硬脂酸聚氧乙烯酯、脂肪胺聚氧乙烯醚、嵌段聚氧乙烯-聚氧丙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺聚氧乙烷醚、烷基糖苷、椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、乙二醇單硬脂酸酯、聚乙二醇雙硬脂酸酯、甘油單硬脂酸酯、聚甘油單硬脂酸酯、蔗糖脂肪酸酯、失水山梨醇脂肪酸酯、聚氧乙烯失水山梨醇脂肪酸酯中的一種或幾種；所述的陰離子表面活性劑為C12-16烷基苯磺酸鈉、烷基萘磺酸鹽、C12-16烷基磺酸鈉、α-烯烴磺酸鈉、木質(zhì)素磺酸鹽、石油磺酸鹽、C12-16烷基硫酸鹽、蓖麻油酸丁酯硫酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鹽、月桂酰氨乙基硫酸鈉、油酰氨基酸鈉、N-?；被猁}、脂肪醇聚氧乙烯醚羧酸鹽中的一種或幾種；所述的陽離子表面活性劑為咪唑啉、十二烷基三甲基氯化銨、十二烷基三甲基溴化銨、四甲基溴化銨、十二烷基三甲基硫酸銨中的一種或幾種。