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用作電源開(kāi)關(guān)的碳化硅N溝場(chǎng)效應(yīng)晶體管及其制造方法

關(guān)鍵詞 碳化硅N溝場(chǎng)效應(yīng)晶體管|2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱用作電源開(kāi)關(guān)的碳化硅N溝場(chǎng)效應(yīng)晶體管及其制造方法公開(kāi)號(hào)1297258公開(kāi)日2001.05.30主分類(lèi)號(hào)H01L2

 

名稱 用作電源開(kāi)關(guān)的碳化硅N溝場(chǎng)效應(yīng)晶體管及其制造方法 
公開(kāi)號(hào) 1297258  公開(kāi)日 2001.05.30   
主分類(lèi)號(hào) H01L29/786  分類(lèi)號(hào) H01L29/786 
申請(qǐng)?zhí)?/strong> 00130957.9 
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>   申請(qǐng)日 2000.11.22   
頒證日   優(yōu)先權(quán)  
申請(qǐng)人 朗迅科技公司  地址 1999.11.23 US 09/448,856 
發(fā)明人 譚健;阿施拉夫·瓦吉赫·洛特菲    國(guó)際申請(qǐng) 美國(guó)新澤西州 
國(guó)際公布   進(jìn)入國(guó)家日期  
專利代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所  代理人 王永剛 
摘要   一種形成在半導(dǎo)體晶片的襯底之上的橫向金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)、一種制造它的方法和組裝了MOSFET的半導(dǎo)體器件及其制造方法。在一個(gè)實(shí)施例中,MOSFET包括位于襯底之上或之內(nèi)的碳化硅層,柵極形成于碳化硅層之上。MOSFET還包括位于碳化硅層中并且與該柵極接觸的源區(qū)和漏區(qū),碳化硅層提高了 MOSFET的擊穿電壓。
 

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