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官方微信摘要 名稱一種氣相生長金剛石膜的反應(yīng)室公開號(hào)2361640公開日2000.02.02主分類號(hào)C23C16/26
| 名稱 | 一種氣相生長金剛石膜的反應(yīng)室 | ||
| 公開號(hào) | 2361640 | 公開日 | 2000.02.02 |
| 主分類號(hào) | C23C16/26 | 分類號(hào) | C23C16/26 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 98211291.2 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1998.01.22 | |
| 頒證日 | 1999.12.24 | 優(yōu)先權(quán) | |
| 申請(qǐng)人 | 河北省機(jī)電一體化中試基地 | 地址 | 050081河北省石家莊市友誼南大街46號(hào) |
| 發(fā)明人 | 張永貴; 梁風(fēng)榮; 臧建民; 唐才先; 杜素梅; 王志娜; 羅 | 國際申請(qǐng) | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 河北省科技專利事務(wù)所 | 代理人 | 丁琛 |
| 摘要 | 一種氣相生長金剛石膜的反應(yīng)室，包括等離子弧噴射裝置、電機(jī)及導(dǎo)軌，等離子弧噴射裝置裝在蓋體中部，蓋體聯(lián)接雙層密封罩，雙層密封罩上有觀察窗，觀察窗的頂端聯(lián)接視鏡，上述等離子弧噴射裝置的外部、雙層密封罩的夾層及觀察窗的頂部均有連接循環(huán)水源的水套，密封罩的下部聯(lián)接氣腔殼，氣腔殼及熱交換器軸承聯(lián)接沉積臺(tái)托軸，沉積臺(tái)托軸中有回水冷卻管，電機(jī)齒輪傳動(dòng)沉積臺(tái)托軸，軸座的一側(cè)連接導(dǎo)軌，軸座的下部與推進(jìn)裝置由絲杠絲母聯(lián)接。本反應(yīng)室可以廉價(jià)高速地生長出大面積的金剛石膜。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)