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官方微信摘要 名稱行波管用的金剛石桿的制備方法公開號1373492公開日2002.10.09主分類號H01J9/00
| 名稱 | 行波管用的金剛石桿的制備方法 | ||
| 公開號 | 1373492 | 公開日 | 2002.10.09 |
| 主分類號 | H01J9/00 | 分類號 | H01J9/00;H01J23/00 |
| 申請?zhí)?/strong> | 02116694.3 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2002.04.16 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權 | ||
| 申請人 | 北京工業(yè)大學 | 地址 | 100022北京市朝陽區(qū)平樂園100號 |
| 發(fā)明人 | 陳光華;張陽 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 北京工大思海專利代理有限責任公司 | 代理人 | 張慧 |
| 摘要 | 一種行波管用的金剛石桿的制備方法屬于微波技術領域。該方法的特征在于：在的Al#-[2]O#-[3]桿上放置與其同厚的相同尺寸的Cu片，再放置于Al#-[2]O#-[3]襯底座上，在750～850℃溫度下使前二者焊接在一起；將此襯底座H#-[2]等離子體中清洗5－10min，微波功率300－400W，H#-[2]流量40－60sccm。金剛石成核條件：將微波功率提高至650W，CH#-[4]/H#-[2](體積比)＝20％，總流量200sccm，反應壓力40乇，時間1h，射頻偏壓－100～－180V。金剛石生長條件：CH#-[4]/H#-[2](體積比) ＝4％，微波功率600 | ||
豫公網安備41019702003646號