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官方微信摘要 名稱光子－熱絲化學(xué)氣相沉積生長大面積金剛石薄膜的方法公開號1355329公開日2002.06.26主分類號C23C1
| 名稱 | 光子－熱絲化學(xué)氣相沉積生長大面積金剛石薄膜的方法 | ||
| 公開號 | 1355329 | 公開日 | 2002.06.26 |
| 主分類號 | C23C16/27 | 分類號 | C23C16/27;C23C16/48 |
| 申請?zhí)?/strong> | 00132595.7 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2000.11.30 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 黑龍江省光電技術(shù)研究所 | 地址 | 157000黑龍江省牡丹江市光華街106－1號 |
| 發(fā)明人 | 申家鏡;邵春雷;彭鴻雁;魏雪峰 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 代理人 | ||
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種光子－熱絲化學(xué)氣相沉積生長大面積金剛石薄膜的方法，其特征是在熱絲化學(xué)氣相沉積的工藝中，同時采用波長為 3.5μm的紅外光對生長襯底表面進(jìn)行照射。本發(fā)明可提高原料氣體的分解率，從而提高金剛石膜的沉積速度，改善金剛石膜的質(zhì)量 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號